同时实现真空、洁净、无氧和高温组合运行环境洁净度100级（FED-STD-209E）+高温≤230°C+真空度50K Par  整体不锈钢设计,内胆及层板架采用的均为SUS304不锈钢材料 采用进口免维护低噪音风机及高效HEPA 多级软硬件报警和保护功能 内容积330L或可按要求定制 采用5”触摸液晶显示屏，设定及监控简便 可实现参数及数据的处理、显示、记录等功能 PLC控制模块，手动定制，自动和程序等运行模式

洁净控氧烘箱（厌氧烘箱）产品主要应用： 砷化镓半导体器件封装烘烤工艺 微型传感器的封装工艺 MEMS的封装工艺研发 LED等器件封装工艺和材料无尘防氧化烘烤